Architektura MOF je tvořena 4 metaúrovněmi

Úroveň M3- množina konstruktů pro definici metamodelů Úroveň M2- modely definované pomocí konstruktorů M3 (jako třeba UML) Úroveň M1- modely tvořené instancemi konstruktorů M2 (např. třída Student) Úroveň M0- objekty a data, instance M1 např. Student Pepa Novotný